标题 |
A High Power Pneumatic Micropump Using Micro Sheet Valves
一种采用微型阀的大功率气动微型泵
相关领域
微型泵
材料科学
双晶片
阀体孔板
机械工程
电气工程
复合材料
工程类
压电
纳米技术
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DOI | |
其它 |
期刊: 作者:Takaaki Kubo; Kazuhiro Yoshida; Joon-wan KIM 出版日期:2023-10-18 |
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