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 Growth rate control and phase diagram of wafer-scale Ga2O3 films by MOCVD 晶片级Ga2O3薄膜的MOCVD生长速率控制及相图
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期刊：Vacuum 作者：Hui Xia; Yongtao Yang; Jia Cao; Fan Zhang; Yang Zhang; et al 出版日期：2023-09-01 |
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