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标题
Nanoelectromechanical resonators for gigahertz frequency control based on hafnia–zirconia–alumina superlattices
基于铪-氧化锆-氧化铝超晶格的千兆赫频率控制纳米机电谐振器
相关领域
谐振器 材料科学 光电子学 纳米机电系统 谐振器耦合系数 电子工程 纳米技术 工程类 纳米颗粒 纳米医学
网址
https://doi.org/10.1038/s41928-023-00999-9
AI链接 researchsquare.comdoi.org
DOI
10.1038/s41928-023-00999-9 doi
其它 期刊：Nature electronics
作者：Troy Tharpe; Eitan Hershkovitz; Faysal Hakim; Honggyu Kim; Roozbeh Tabrizian
出版日期：2023-07-27
求助人
加肥猫1992 在 2024-11-29 10:09:34 发布自重庆，悬赏 10 积分
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