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 A novel piezoelectrically actuated 2-DoF compliant micro/nano-positioning stage with multi-level amplification 一种新型多级放大压电驱动的2自由度柔性微/纳定位台
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期刊：Review of Scientific Instruments 作者：Wu-Le Zhu; Zhiwei Zhu; Yi Shi; Xiangfan Chen; Yu He; et al 出版日期：2016-10-01 |
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