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标题
Sputtering parameters effect on microstructural parameters of TiN coating via the Williamson-Hall analysis
通过Williamson-Hall分析溅射参数对TiN涂层微观结构参数的影响
相关领域
材料科学 溅射沉积 溅射 锡 复合材料 氮化钛 晶格常数 涂层 冶金 凝聚态物理 衍射 薄膜 氮化物 光学 纳米技术 物理 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1088/2053-1591/abbd09
AI链接 doi.orgdoi.org
DOI
10.1088/2053-1591/abbd09 doi
其它 期刊：Materials Research Express
作者：Jinghao Huang; Shuliang Zou; Weiwei Xiao; Xiaoshuang Liu; Dewen Tang
出版日期：2020-09-30
求助人
小豪娃 在 2024-11-29 16:03:09 发布自河北，悬赏 10 积分
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