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标题
<title>Fast, low-complexity mask design</title>
快速、低复杂度掩码设计
相关领域
计算 算法 计算机科学 光学接近校正 可制造性设计 点（几何） 计算科学 光学 数学 物理 几何学 工程类 光刻 电气工程
网址
https://doi.org/10.1117/12.209263
DOI
10.1117/12.209263 doi
其它 期刊：SPIE Proceedings
作者：Nicolas B. Cobb; Avideh Zakhor
出版日期：2005-05-23
求助人
花花猪1989 在 2025-02-28 15:35:41 发布自北京，悬赏 20 积分
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