Study of Metal–Dielectric Interface for Improving Electrical Properties and Reliability of DRAM Capacitor

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标题	Study of Metal–Dielectric Interface for Improving Electrical Properties and Reliability of DRAM Capacitor 提高DRAM电容器电性能和可靠性的金属-介质界面研究相关领域材料科学德拉姆电容器电介质泄漏（经济）动态随机存取存储器光电子学电气工程电压工程类宏观经济学半导体存储器经济
网址	https://doi.org/10.1002/admt.202200412
DOI	10.1002/admt.202200412 doi
其它	期刊：Advanced materials and technologies 作者：Hanjin Lim; Jae Hyoung Choi; Gihee Cho; Jaewan Chang; Younsoo Kim; et al 出版日期：2022-07-10
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