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标题
Sidewall Modification Process for Trench Silicon Power Devices
沟槽硅功率器件的侧壁改性工艺
相关领域
材料科学 沟槽 薄脆饼 钝化 蚀刻(微加工) 反应离子刻蚀 光电子学 制作 栅氧化层 等离子体刻蚀 等离子体 纳米技术 电压 电气工程 晶体管 图层(电子) 量子力学 医学 病理 替代医学 工程类 物理
网址
DOI
10.3390/electronics12112385 doi
其它 期刊:Electronics
作者:Lei Jin; Zhuorui Tang; Long Chen; Guijiu Xie; Zhang‐Long Chen; et al
出版日期:2023-05-25
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