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 Electric field reversals resulting from voltage waveform tailoring in Ar/O2 capacitively coupled plasmas sustained in asymmetric systems 非对称系统中Ar/O2电容耦合等离子体电压波形剪裁引起的电场反转
相关领域
电场
电子
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等离子体
离子
材料科学
化学
物理
量子力学
有机化学
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期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Florian Krüger; Hyunjae Lee; Sang Ki Nam; Mark J. Kushner 出版日期：2021-08-01 |
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