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On-chip micro pressure sensor for microfluidic pressure monitoring
用于微流控压力监测的片上微压力传感器
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期刊:Journal of Micromechanics and Microengineering 作者:Renchang Zhang; Qian Li; Lu Tian; Jun Gong; Zhengming Li; et al 出版日期:2021-04-13 |
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