Ultralow-dielectric-constant amorphous boron nitride

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标题	Ultralow-dielectric-constant amorphous boron nitride 超低介电常数非晶氮化硼相关领域材料科学电介质光电子学氮化硼无定形固体氮化硅纳米技术小型化电容半导体硅电极化学物理化学有机化学
网址	https://doi.org/10.1038/s41586-020-2375-9
DOI	10.1038/s41586-020-2375-9 doi
其它	期刊：Nature 作者：Seokmo Hong; Chang‐Seok Lee; Min-Hyun Lee; Yeongdong Lee; Kyung Yeol; et al 出版日期：2020-06-24
求助人	李洋在 2024-11-07 10:28:13 发布自天津，悬赏 10 积分
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