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标题
Ultralow-dielectric-constant amorphous boron nitride
超低介电常数非晶氮化硼
相关领域
材料科学 电介质 光电子学 氮化硼 无定形固体 氮化硅 纳米技术 小型化 电容 半导体 硅 电极 化学 物理化学 有机化学
网址
https://doi.org/10.1038/s41586-020-2375-9
AI链接 uab.cat uab.cat nih.govdoi.org
DOI
10.1038/s41586-020-2375-9 doi
其它 期刊：Nature
作者：Seokmo Hong; Chang‐Seok Lee; Min-Hyun Lee; Yeongdong Lee; Kyung Yeol; et al
出版日期：2020-06-24
求助人
李洋 在 2024-11-07 10:28:13 发布自天津，悬赏 10 积分
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