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 Experimental Investigation on Ablation of 4H-SiC by Infrared Femtosecond Laser 红外飞秒激光烧蚀4H-SiC的实验研究
相关领域
材料科学
烧蚀
激光器
飞秒
碳化硅
表面粗糙度
激光烧蚀
光学
机械加工
表面光洁度
脉冲持续时间
光电子学
微电子
复合材料
冶金
航空航天工程
工程类
物理
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期刊：Micromachines 作者：Lukang Wang; You Zhao; Yu Yang; Manman Zhang; Yulong Zhao 出版日期：2022-08-11 |
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