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Nanomechanical inhomogeneities in CVA-deposited titanium nitride thin films: Nanoindentation and finite element method investigations
CVA沉积氮化钛薄膜的纳米力学不均匀性:纳米压痕和有限元方法研究
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期刊:Heliyon 作者:Neeraj Kumar Sharma; Anchal Rana; O. S. Panwar; Abhimanyu Rana 出版日期:2024-06-01 |
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