Fabrication of large-scale monocrystalline silicon metasurfaces on flexible substrates

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标题	Fabrication of large-scale monocrystalline silicon metasurfaces on flexible substrates 柔性衬底上大规模单晶硅超表面的制备相关领域单晶硅材料科学硅光电子学基质（水族馆）光子学硅光子学混合硅激光器纳米技术光学物理海洋学地质学
网址	https://doi.org/10.1117/12.3033264
DOI	10.1117/12.3033264 doi
其它	期刊：作者：Chen Liu; Y.F. Zhang; Yiheng Zhai; Guangyuan Li; Shaojun Wang 出版日期：2024-08-14
求助人	ZH 在 2024-11-13 20:05:22 发布自江苏，悬赏 20 积分
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