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 BEOL Compatible Ultra-Low Operating Voltage (0.5 V) and Preconfigured Switching Polarization States in Effective 3 nm Ferroelectric HZO Capacitors 有效3 nm铁电HZO电容器中的BEOL兼容超低工作电压（0.5 V）和预配置开关极化状态
相关领域
电容器
材料科学
铁电性
光电子学
铁电电容器
电压
极化（电化学）
电气工程
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化学
工程类
物理化学
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期刊： 作者：Minjong Lee; Jin-Hyun Kim; Dan N. Le; Seojun Lee; Si-Un Song; et al 出版日期：2024-06-16 |
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