标题 |
Local Oxidation of Silicon and its Application in Semiconductor-Device Technology
硅的局部氧化及其在半导体器件技术中的应用
相关领域
硅
半导体
材料科学
半导体器件
光电子学
工程物理
工程类
纳米技术
图层(电子)
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其它 |
期刊: 作者:J. A. Aappels 出版日期:1970-01-01 |
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