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 Hf-Based High-kDielectrics: Process Development, Performance Characterization, and Reliability 高频基高分子电介质：工艺发展、性能表征和可靠性
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期刊：Synthesis Lectures on Solid State Materials and Devices 作者：Young-Hee Kim; Jack C. Lee 出版日期：2006-06-08 |
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