Detailed illuminator design for full-field ArF lithography system with a method based on the fly's eye

已完结

文献求助详情

标题	Detailed illuminator design for full-field ArF lithography system with a method based on the fly's eye 基于蝇眼法的全场ArF光刻系统详细照明器设计相关领域平版印刷术十字线镜头（地质）光学计算机科学基点投影（关系代数）物理光电子学算法薄脆饼
网址	https://doi.org/10.1117/12.980911
DOI	10.1117/12.980911 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Lidong Wei; Yanqiu Li; Lihui Liu 出版日期：2012-12-18
求助人	cgl155410 在 2024-08-16 14:36:02 发布自广东，悬赏 20 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，破除各种障碍，优化资源分配，让科研信息充分流通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 传奇3上传了应助文件

1秒前; oleskarabach完成签到，获得积分20

9秒前; oleskarabach发布了新的文献求助10

14秒前; 苏葳蕤完成签到，获得积分10

17秒前; NexusExplorer上传了应助文件

20秒前; SCI发布了新的文献求助10

21秒前; 既然寄了，那就开摆完成签到，获得积分10

24秒前; QI发布了新的文献求助10

24秒前; 煎炒焖煮炸培根完成签到，获得积分10

25秒前; Easypass完成签到，获得积分10

26秒前; wtsow完成签到，获得积分0

27秒前; 苏葳蕤发布了新的文献求助10

30秒前; 深情安青上传了应助文件

30秒前; 守正创新是鲜明理论品格完成签到，获得积分10

31秒前; 活泼新儿发布了新的文献求助10

36秒前; 英俊的铭的应助被科研通管家采纳，获得10

36秒前; 彭于晏的应助被科研通管家采纳，获得10

36秒前; Akim上传了应助文件

38秒前; wbs13521发布了新的文献求助10

42秒前; wbs13521完成签到，获得积分10

49秒前; 英俊的铭的应助被橘子汽水采纳，获得10

50秒前; 英俊的铭上传了应助文件

55秒前; 橘子汽水发布了新的文献求助10

1分钟前; doctor小陈完成签到，获得积分10

1分钟前; 华仔的应助被TIGun采纳，获得10

1分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

1分钟前; 李健的小迷弟的应助被乐观安蕾采纳，获得10

1分钟前; 张张完成签到，获得积分10

1分钟前; 南浔完成签到，获得积分10

1分钟前; 科研通AI2.0上传了应助文件

1分钟前; Delight完成签到，获得积分10

1分钟前; wanci的应助被田柾国采纳，获得10

2分钟前; 科研通AI2.0上传了应助文件

2分钟前; 务实的焦完成签到，获得积分10

2分钟前; wanci上传了应助文件

2分钟前; 小蘑菇的应助被YY采纳，获得10

2分钟前; 田柾国发布了新的文献求助10

2分钟前; efren1806完成签到，获得积分10

2分钟前; 时尓发布了新的文献求助10

2分钟前; LAN完成签到，获得积分10

2分钟前