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Tunable Fabry-Pérot interferometer integrated in a silicon waveguide of an on-chip optical platform for long infrared wavelengths
集成在长红外光学平台硅波导中的可调谐法布里-珀罗涉仪
相关领域
深反应离子刻蚀
材料科学
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光学
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其它 |
期刊: 作者:Julia Wecker; Karla Hiller; Toni Grossmann; Susann Hahn; Steffen Kurth; et al 出版日期:2023-03-13 |
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