Reaction Kinetics of Poly-Si Etching in TMAH Solution - 科研通

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标题	Reaction Kinetics of Poly-Si Etching in TMAH Solution TMAH溶液中多晶硅刻蚀反应动力学相关领域四甲基氢氧化铵蚀刻（微加工）动力学材料科学化学工程四甲基铵硅化学纳米技术有机化学冶金离子量子力学物理工程类图层（电子）
网址	https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/ssp.314.60
DOI	10.4028/www.scientific.net/ssp.314.60 doi
其它	期刊：Diffusion and defect data, solid state data. Part B, Solid state phenomena/Solid state phenomena 作者：Taegun Park; Sangwoo Lim 出版日期：2021-02-01
求助人	大象吹泡泡在 2024-09-10 08:32:12 发布自辽宁，悬赏 30 积分
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