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 MEMS-based piezoresistive and capacitive microphones: A review on materials and methods 基于MEMS的压阻电容传声器材料与方法研究进展
相关领域
压阻效应
电容感应
微电子机械系统
材料科学
小型化
话筒
声学
电容
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计算机科学
电子工程
纳米技术
电气工程
光电子学
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声压
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纳米医学
量子力学
纳米颗粒
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| 其它 |
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Ajai Kumar; Arathy Varghese; Dheeraj Kalra; Anshuman Raunak; Jaiverdhan; et al 出版日期：2024-01-01 |
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