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标题
High Quality, Ultrathin AlN Layers with Atomically Flat Surface for Deep UV LED
用于深紫外LED的具有原子级平坦表面的高质量超薄AlN层
网址
https://advanced.onlinelibrary.wiley.com/doi/abs/10.1002/adf...
DOI
10.1002/adfm.202503580
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doi
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雨霧雲
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