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标题
p-Type High-Performance WSi2N4 MOSFETs with the Ultrashort Scale of Sub-5 nm
超短尺度小于5 nm的p型高性能WSi2N4 MOSFET
相关领域
材料科学 高-κ电介质 光电子学 晶体管 MOSFET 电介质 场效应晶体管 金属浇口 半导体 兴奋剂 阈下斜率 离子 阈下摆动 栅极电介质 栅氧化层 电气工程 物理 电压 工程类 量子力学
网址
DOI
10.1021/acsaelm.3c01216 doi
其它 期刊:ACS applied electronic materials
作者:Xianghe Liu; Yuliang Mao
出版日期:2023-12-06
求助人
天真咖啡豆 在 2025-04-19 10:45:47 发布自江苏,悬赏 10 积分
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