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 Photoelectrochemical mechanical polishing method for n-type gallium nitride n型氮化镓的光电化学机械抛光方法
相关领域
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材料科学
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氮化镓
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期刊：CIRP Annals 作者：Zhigang Dong; Liwei Ou; Renke Kang; Huiqin Hu; Bi Zhang; et al 出版日期：2019-01-01 |
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