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Contact Resistance Reduction of Low Temperature Atomic Layer Deposition ZnO Thin Film Transistor Using Ar Plasma Surface Treatment 氩等离子体表面处理降低低温原子层沉积ZnO薄膜晶体管接触电阻
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期刊:IEEE Electron Device Letters 作者:Jiqing Lu; Wenhui Wang; Jinxuan Liang; Jun Lan; Longyang Lin; et al 出版日期:2022-06-01 |
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