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 Suppression of Poly Depletion Effect by Optimizing Ion Implantation and Rapid Thermal Annealing Process in 55nm Nor Flash Technology 优化离子注入和快速退火工艺抑制55nm Nor闪光工艺中的聚耗尽效应
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期刊： 作者：Hualun Chen; Jiahui Jiao; Hu Wang; Haochun Xiao; Zhaozhao Xu; et al 出版日期：2022-06-20 |
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