Plasma-enhanced atomic layer deposition of amorphous Ga2O3 gate dielectrics

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标题	Plasma-enhanced atomic layer deposition of amorphous Ga2O3 gate dielectrics 非晶Ga2O3栅介质的等离子体增强原子层沉积相关领域无定形固体电介质 X射线光电子能谱材料科学分析化学（期刊）薄膜栅极电介质原子层沉积高-κ电介质镓光电子学化学纳米技术电压结晶学核磁共振电气工程物理工程类晶体管色谱法冶金
网址	https://doi.org/10.1016/j.jpcs.2022.110976
DOI	10.1016/j.jpcs.2022.110976 doi
其它	期刊：Journal of Physics and Chemistry of Solids 作者：Yosef Badalı; Engin Arslan; T. Gamze Ulusoy Ghobadi; Süleyman Özçelik; Ekmel Özbay 出版日期：2022-08-30
求助人	灵巧忆南在 2024-12-02 15:19:12 发布自福建，悬赏 10 积分
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