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标题
A global model study of low pressure high density CF4 discharge
低压高密度CF4排放的全局模型研究
相关领域
体积热力学 等离子体 原子物理学 化学 材料科学 热力学 物理 核物理学
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6595/aaf412
DOI
10.1088/1361-6595/aaf412 doi
其它 期刊：Plasma Sources Science and Technology
作者：David Toneli; Rodrigo Sávio Pessoa; Marisa Roberto; Jón Tómas Guðmundsson
出版日期：2018-11-26
求助人
调研昵称 在 2024-12-02 09:34:11 发布自印度，悬赏 10 积分
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