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![]() 不同O/Si比前驱体PECVD制备用于气体分离的微孔有机二氧化硅膜
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期刊:Journal of Membrane Science 作者:Hiroki Nagasawa; Toshihiro Minamizawa; Masakoto Kanezashi; Tomohisa Yoshioka; Toshinori Tsuru 出版日期:2015-04-18 |
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