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 The effects of substrate temperatures on the electrical properties of CaZrO3 thin films prepared by RF magnetron sputtering 衬底温度对射频磁控溅射CaZrO3薄膜电学性能的影响
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期刊：Current Applied Physics 作者：Qiao He; Yi Zhang; Xiaoyang Chen; Zhi Wang; Hang Ji; et al 出版日期：2020-02-05 |
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