Direct Analysis of Si, SiC and GaN Wafers by LA-GED-MSAG-ICP-MS

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标题	Direct Analysis of Si, SiC and GaN Wafers by LA-GED-MSAG-ICP-MS LA-GED-MSAG-ICP-MS直接分析Si、SiC和GaN晶片相关领域材料科学薄脆饼杂质激光烧蚀烧蚀分析化学（期刊）电感耦合等离子体质谱法等离子体激光器金属感应耦合等离子体质谱法光电子学冶金光学色谱法量子力学化学物理有机化学工程类航空航天工程
网址	https://doi.org/10.4028/p-3frodt
DOI	10.4028/p-3frodt doi
其它	期刊：Diffusion and defect data, solid state data. Part B, Solid state phenomena/Solid state phenomena 作者：Koshi Suzuki; Tatsu Ichinose; Katsu Kawabata 出版日期：2023-08-14
求助人	z张z 在 2024-10-25 17:19:10 发布自黑龙江，悬赏 30 积分
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