High efficiency regulation method to generate illumination source by adopting micromirror array in DUV lithography

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标题	High efficiency regulation method to generate illumination source by adopting micromirror array in DUV lithography DUV光刻中采用微镜阵列产生照明源的高效调节方法相关领域光学平版印刷术数字微镜装置材料科学光掩模电子束光刻极紫外光刻光电子学物理抵抗纳米技术图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1364/ao.536947
DOI	10.1364/ao.536947 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Yuqing Chen; Yanqiu Li; lihui liu 出版日期：2024-09-12
求助人	松松在 2024-10-13 08:10:09 发布自云南，悬赏 10 积分
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