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 Design of a MEMS Optical Microphone Transducer Based on Light Phase Modulation 基于光相位调制的MEMS光学传声器换能器设计
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期刊：IEEE Sensors Journal 作者：Niccolò de Milleri; Güclü A. Onaran; Andreas Wiesbauer; A. Basçhirotto 出版日期：2023-12-12 |
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