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Charge Utilization Efficiency and Side Reactions in the Electrochemical Mechanical Polishing of 4H-SiC (0001)
4H-SiC（0001）电化学机械抛光中的电荷利用率和副反应
相关领域
抛光 薄脆饼 阳极 材料科学 电化学 碳化硅 阳极氧化 化学机械平面化 化学工程 冶金 纳米技术 化学 电极 物理化学 工程类 铝
网址
https://doi.org/10.1149/1945-7111/ac4b1f
DOI
10.1149/1945-7111/ac4b1f doi
其它 期刊：Journal of The Electrochemical Society
作者：Xiaozhe Yang; Yang Xu; Haiyang Gu; Kentaro Kawai; Kenta Arima; et al
出版日期：2022-02-01
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跨时代zzz 在 2025-02-11 12:37:07 发布，悬赏 10 积分
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