标题 |
Effects of TiO2 layer and post-heat treatment on the crack-free and improved electric properties of sol-gel derived PZT-based films for MEMS applications
TiO2层和后热处理对溶胶-凝胶衍生PZT基MEMS薄膜无裂纹和改善电性能的影响
相关领域
材料科学
微电子机械系统
图层(电子)
复合材料
光电子学
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DOI | |
其它 |
期刊:Materials Science and Engineering B 作者:Yi-Chen Ho; Cheng-Ying Li; Sheng‐Yuan Chu; Cheng‐Che Tsai; Po‐Chun Chen 出版日期:2024-06-08 |
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