High-productivity direct-write e-beam lithography: an enabling patterning technology to augment your lithography toolbox

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标题	High-productivity direct-write e-beam lithography: an enabling patterning technology to augment your lithography toolbox 高生产率直写电子束光刻：一种增强光刻工具箱的图案化技术相关领域无光罩微影平版印刷术光刻下一代光刻多重图案浸没式光刻材料科学计算光刻极紫外光刻计算机科学微电子电子束光刻十字线纳米技术薄脆饼抵抗光电子学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2658237
DOI	10.1117/12.2658237 doi
其它	期刊：作者：K.P. MacWilliams; Andrew Ceballos; Ted Prescop; David Lam 出版日期：2023-05-01
求助人	Henry 在 2024-11-12 20:58:23 发布自广东，悬赏 20 积分
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