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 In situ characterization of residues formed on a plasma-etching chamber 等离子体蚀刻室上形成的残留物的原位表征
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Hiroki Kawada; Miyuki Yamane; Hiroyuki Kitsunai; Shinichi Suzuki 出版日期：2001-01-01 |
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