标题 |
Novel green chemical mechanical polishing for an aluminum alloy and mechanisms interpreted by molecular dynamics simulations and measurements
铝合金新型绿色化学机械抛光及其机理的分子动力学模拟与测量
相关领域
材料科学
化学机械平面化
合金
表面粗糙度
抛光
X射线光电子能谱
无定形固体
复合材料
表面光洁度
铝
化学工程
冶金
结晶学
化学
工程类
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DOI | |
其它 |
期刊:Surfaces and Interfaces 作者:Yubiao Li; Zhenyu Zhang; Xingqiao Deng; Hongxiu Zhou; Yang Gu; et al 出版日期:2023-11-01 |
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