Design and fabrication of a SiN-Si dual-layer optical phased array chip

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标题	Design and fabrication of a SiN-Si dual-layer optical phased array chip SiN-Si双层光学相控阵芯片的设计与制作相关领域材料科学制作炸薯条图层（电子）相控阵光电子学天线（收音机）分析化学（期刊）光学计算机科学电信纳米技术物理化学替代医学病理色谱法医学
网址	https://doi.org/10.1364/prj.387376
DOI	10.1364/prj.387376 doi
其它	期刊：Photonics Research 作者：Pengfei Wang; Gan Luo; Xu Yang; Yajie Li; Yanmei Su; et al 出版日期：2020-05-26
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