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 Influence of Very High-Frequency PECVD Hydrogen Plasma Treatment on Intrinsic Amorphous Silicon Passivation Stack: Impact on Silicon Heterojunction Solar Cell Performance 甚高频PECVD氢等离子体处理对本征非晶硅钝化堆叠的影响：对硅异质结太阳能电池性能的影响
相关领域
等离子体增强化学气相沉积
钝化
材料科学
非晶硅
硅
光电子学
堆栈（抽象数据类型）
等离子体
异质结
纳米晶硅
太阳能电池
晶体硅
纳米技术
图层（电子）
计算机科学
物理
量子力学
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| 其它 |
期刊：ACS Applied Energy Materials 作者：Ashutosh Pandey; Shrestha Bhattacharya; S. U. Alam; Silajit Manna; Sourav Sadhukhan; et al 出版日期：2025-01-02 |
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