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标题
Femtosecond laser processing of amorphous silicon films
非晶硅薄膜的飞秒激光加工
相关领域
材料科学 飞秒 无定形固体 非晶硅 激光器 光电子学 材料加工 纳米技术 光学 晶体硅 工艺工程 结晶学 物理 工程类 化学
网址
DOI
10.1016/j.jmapro.2024.08.029 doi
其它 期刊:Journal of Manufacturing Processes
作者:Kelly T. Paula; H.-I. Lin; Florent Yang; José Dirceu Vollet‐Filho; Tian Gu; et al
出版日期:2024-10-01
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