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 Structural and Fluorine Plasma Etching Behavior of Sputter-Deposition Yttrium Fluoride Film 溅射沉积氟化钇薄膜的结构和氟等离子体刻蚀行为
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期刊：Nanomaterials 作者：Weikai Wang; Yu-Xiu Lin; Yi-Jie Xu 出版日期：2018-11-14 |
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