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 Vacancy-Type Defects in HfO2 Layers and Their Role in Amorphous-to-Crystalline Transition Studied by Monoenergetic Positron Beams 单能正电子束研究HfO2层中的空位型缺陷及其在非晶向晶态转变中的作用
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| 其它 |
期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Akira Uedono; Kazuya Kawakami; Tatsunori Kuribara; Ryu Hasunuma; Yosuke Harashima; et al 出版日期：2025 |
| 求助人 | |
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