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 Enhanced etching resolution of self-assembled PS-b-PMMA block copolymer films by ionic liquid additives 离子液体添加剂提高自组装PS-b-PMMA嵌段共聚物薄膜的刻蚀分辨率
相关领域
材料科学
共聚物
离子液体
化学工程
蚀刻（微加工）
分辨率（逻辑）
离子键合
高分子化学
纳米技术
复合材料
离子
聚合物
有机化学
催化作用
图层（电子）
化学
人工智能
工程类
计算机科学
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期刊：Nanotechnology 作者：Hongbo Hao; Shuangjun Chen; Jiaxing Ren; Xuanxuan Chen; Paul F. Nealey 出版日期：2023-01-29 |
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