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标题
Role of Photoelectrochemical Oxidation in Enabling High-Efficiency Polishing of Gallium Nitride
光电化学氧化在氮化镓高效抛光中的作用
相关领域
抛光 材料科学 薄脆饼 化学机械平面化 蚀刻（微加工） 氮化镓 氮化物 氧化法 光电子学 光电化学 纳米技术 冶金 化学工程 电化学 图层（电子） 电极 物理化学 化学 工程类
网址
https://doi.org/10.1149/2162-8777/acde61
AI链接 iop.orgdoi.org
DOI
10.1149/2162-8777/acde61 doi
其它 期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者：Kiyoto Kayao; Daisetsu Toh; Kazuto Yamauchi; Yasuhisa Sano
出版日期：2023-06-01
求助人
东东呀 在 2025-03-13 20:20:22 发布自吉林，悬赏 10 积分
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