Convolutional neural network based multi-input multi-output model for multi-sensor multivariate virtual metrology in semiconductor manufacturing

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标题	Convolutional neural network based multi-input multi-output model for multi-sensor multivariate virtual metrology in semiconductor manufacturing 基于卷积神经网络的半导体制造多传感器多元虚拟计量多输入多输出模型相关领域多元统计计量学卷积神经网络计算理论计算机科学半导体器件制造多元分析半导体人工智能机器学习算法电气工程工程类数学统计薄脆饼
网址	https://doi.org/10.1007/s10479-024-05902-z
DOI	10.1007/s10479-024-05902-z doi
其它	期刊：Annals of Operations Research 作者：Jeongsub Choi; Mengmeng Zhu; Jihoon Kang; Myong K. Jeong 出版日期：2024-03-16
求助人	浅斟低唱在 2025-04-05 20:56:52 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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