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 Atomic Layer Deposition of Copper Metal Films from Cu(acac)2 and Hydroquinone Reductant Cu（acac）2和对苯二酚还原剂原子层沉积铜金属膜
相关领域
铜
材料科学
原子层沉积
图层（电子）
沉积（地质）
对苯二酚
制作
金属
薄膜
化学工程
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冶金
无机化学
纳米技术
复合材料
化学
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生物
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沉积物
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期刊：Advanced Engineering Materials 作者：T. S. Tripathi; Martin Wilken; Christian Hoppe; Teresa de los Arcos; Guido Grundmeier; et al 出版日期：2021-07-01 |
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