Role of High-k Interlayer in ZrO2/High-k/ZrO2 Insulating Multilayer on Electrical Properties for DRAM Capacitor - 科研通

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标题	Role of High-k Interlayer in ZrO2/High-k/ZrO2 Insulating Multilayer on Electrical Properties for DRAM Capacitor ZrO2/High-k/ZrO2绝缘多层中的高k夹层对DRAM电容器电学性能的影响相关领域材料科学高-κ电介质无定形固体电介质退火（玻璃）锡原子层沉积正交晶系四方晶系分析化学（期刊）带隙薄膜光电子学纳米技术结晶学复合材料冶金晶体结构化学色谱法
网址	https://doi.org/10.1149/07508.0667ecst
DOI	10.1149/07508.0667ecst doi
其它	期刊：ECS Transactions 作者：Takashi Onaya; Toshihide Nabatame; Tomomi Sawada; Kazunori Kurishima; Naomi Sawamoto; et al 出版日期：2016-08-18
求助人	穆萝在 2025-03-08 20:27:48 发布，悬赏 10 积分
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