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标题
Transparent and conductive IZO films: Oxygen and discharge voltage controlled sputtering growth and properties
透明导电IZO薄膜的氧和放电压控溅射生长及性能研究
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材料科学 X射线光电子能谱 溅射 溅射沉积 氧气 微观结构 铟 电阻率和电导率 薄膜 分析化学（期刊） 光电子学 化学工程 纳米技术 复合材料 化学 电气工程 工程类 有机化学 色谱法
网址
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2021.110645
DOI
10.1016/j.vacuum.2021.110645 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：Pei Lei; Marc E. Rothenberg; Yan Ya; Junping Peng; Changshan Hao; et al
出版日期：2022-01-01
求助人
之心 在 2024-08-29 09:32:26 发布自四川，悬赏 10 积分
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