Effects of different Ar/O<inf>2</inf> ratios on the electrical properties of CuPc-based TFTs with ZrO<inf>2</inf> gate dielectric

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标题	Effects of different Ar/O<inf>2</inf> ratios on the electrical properties of CuPc-based TFTs with ZrO<inf>2</inf> gate dielectric 不同Ar/O2比对ZrO2栅介质CuPc基薄膜晶体管电学性能的影响相关领域电介质氧气栅极电介质溅射材料科学溅射沉积分析化学（期刊）光电子学化学纳米技术电气工程薄膜有机化学晶体管工程类电压
网址	https://doi.org/10.1109/edssc.2011.6117708
DOI	10.1109/edssc.2011.6117708 doi
其它	期刊：作者：Wing Man Tang; Mark Greiner; Michael G. Helander; Zheng Lu; Wai Tung Ng 出版日期：2011-11-01
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